Exploration of the copper CMP removal mechanism

被引：0

作者：

Advanced Products Research and, Development Lab , Austin, United States ^{[1
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机构：

来源：

Materials Research Society Symposium - Proceedings | 2000年 / 566卷

关键词：

544.1 Copper - 604.2 Machining Operations - 641.1 Thermodynamics - 802.2 Chemical Reactions - 802.3 Chemical Operations - 804 Chemical Products Generally;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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