Planarization of large area CVD-diamond films using polyimide

被引：0

作者：

Pawar, M.R. ^{[1
]}

Brown, W.D. ^{[1
]}

Malshe, A.P. ^{[1
]}

Naseem, H.A. ^{[1
]}

Ang, S.S. ^{[1
]}

Ulrich, R.K. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Arkansas, Fayetteville, United States

来源：

International Journal of Microcircuits and Electronic Packaging | / 19卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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