Axial microscopic distribution of grown-in defects in Czochralski-grown silicon crystals

被引：0

作者：

机构：

[1] Umeno, Shigeru

[2] Sadamitsu, Shinsuke

[3] Murakami, Hiroki

[4] Hourai, Masataka

[5] Sumita, Shigeo

[6] Shigematsu, Tatsuhiko

来源：

Umeno, Shigeru | 1600年 / 32期

关键词：

D O I：

暂无

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