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Active vibration control in fabs
被引：0
作者：
Kim, John J.
[1
]
Amick, Hal
[1
]
机构：
[1] Barry Controls, Brighton, United States
来源：
Semiconductor International
|
1997年
/
20卷
/
08期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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页码：223 / 224
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