Polished aluminium nitride substrate coated with silicon oxide film

被引：0

作者：

Nagai, Y. ^{[1
]}

Nakagawa, N. ^{[1
]}

机构：

[1] Toyo Aluminium K. K., Osaka, Japan

来源：

Nippon Seramikkusu Kyokai Gakujutsu Ronbunshi/Journal of the Ceramic Society of Japan | 1997年 / 105卷 / 1218期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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