GaAs surface cleaning by low-energy hydrogen ion bombardment at moderate temperatures

被引：0

作者：

Schubert, E. ^{[1
]}

Razek, N. ^{[1
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Frost, F. ^{[1
]}

Schindler, A. ^{[1
]}

Rauschenbach, B. ^{[1
]}

机构：

[1] Leibniz-Inst. F. O., Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany

来源：

Journal of Applied Physics | 2005年 / 97卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

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