Depth profiling of InAs/InP and InxGa1-xAs/InAs heterostructures grown by molecular beam epitaxy

被引:0
作者
Bruni, M.R. [1 ]
Gambacorti, N. [1 ]
Kaciulis, S. [1 ]
Mattogno, G. [1 ]
Simeone, M.G. [1 ]
Viticoli, S. [1 ]
机构
[1] CNR, Roma, Italy
来源
Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology | 1994年 / B28卷 / 1-3期
关键词
Deoxidation - Depth profiling - Indium arsenide - Indium gallium arsenide - Ternary compounds;
D O I
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页码:228 / 231
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