FIELD-ASSISTED ION EXCHANGE FOR THE DETECTION OF LOCALIZED DEFECTS IN THIN FILMS ON GLASS SUBSTRATES.

被引:0
作者
Pantchev, B.G. [1 ]
Danesh, P. [1 ]
机构
[1] Bulgarian Acad of Sciences, Sofia, Bulg, Bulgarian Acad of Sciences, Sofia, Bulg
来源
Thin Solid Films | 1988年 / 161卷
关键词
INTERFERENCE MICROSCOPE - LOCALIZED DEFECTS;
D O I
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