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New method for improving performance of real-time focusing servo system
被引：0
作者：
Xiong, M.D.
Xiao, W.L.
Xing, Z.B.
机构：
来源：
Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology
|
2001年
/
02期
关键词：
D O I：
暂无
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