Optimization of buffer layers for AlGaAs/InGaAs/GaAs pseudomorphic high electron mobility transistors by atmospheric pressure metalorganic chemical vapor deposition

被引:0
作者
Pan, N. [1 ]
Jackson, G.S. [1 ]
Carter, J. [1 ]
Hendriks, H. [1 ]
Brierley, S.K. [1 ]
机构
[1] Raytheon Research, Lexington, United States
来源
Journal of Electronic Materials | 1992年 / 21卷 / 02期
关键词
Transistors; High Electron Mobility;
D O I
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页码:199 / 203
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