Pulsed two-channel spectral ellipsometer with binary modulation of polarization state

被引：0

作者：

Kovalev, V.I. ^{[1
]}

Rukovishnikov, A.I. ^{[1
]}

机构：

[1] Fryazinskoe Otdelenie, IRE, RAN, pl. Akad. B.A. Vvedenskogo 1, Fryazino, Moscow oblast, 141190, Russia

来源：

Pribory i Tekhnika Eksperimenta | 2003年 / 46卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Ellipsometry

引用

页码：162 / 163