Energy dependence of concentration of implants and its chemical consequences

被引：0

作者：

Roessler, K. ^{[1
]}

Eich, G. ^{[1
]}

机构：

[1] KFA, Germany

来源：

关键词：

Binary Collision Approximation - Collision Cascades - Implant Concentration - Marlowe Computer Code;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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