Research on micro/nanomachining using an atomic force microscope combined with diamond tip

被引：0

作者：

Zhao, Q.L. ^{[1
]}

Dong, S. ^{[1
]}

Zhang, X.L. ^{[1
]}

机构：

[1] Precision Eng. Res. Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, China

来源：

Jixie Gongcheng Xuebao/Chinese Journal of Mechanical Engineering | 2000年 / 36卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.3901/jme.2000.11.064

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Machining

引用

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