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Low-energy ion implanter for surface and materials science
被引：0
作者：
Habenicht, Sonke
Bolse, Wolfgang
Lieb, Klaus-Peter
机构：
来源：
Review of Scientific Instruments
|
1998年
/
69卷
/
05期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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