Step coverage characteristics of Pb(Zr, Ti)O3 thin films on various electrode materials by metallorganic chemical vapor deposition

被引：0

作者：

Shimizu, Masaru ^{[1
]}

Hyodo, Satoshi ^{[1
]}

Fujisawa, Hironori ^{[1
]}

Niu, Hirohiko ^{[1
]}

Shiosaki, Tadashi ^{[1
]}

机构：

[1] Himeji Inst of Technology, Hyogo, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1997年 / 36卷 / 9 B期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5808 / 5811