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ONE-STEP REPAIR OF TRANSPARENT DEFECTS IN HARD-SURFACE PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS VIA LASER PHOTODEPOSITION.
被引：0
作者：
Enrlich, D.J.
Osgood Jr., R.M.
Silversmith, D.J.
Deutsch, T.F.
机构：
来源：
Electron device letters
|
1980年
/
EDL-1卷
/
06期
关键词：
Compendex;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
Lithography
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