In situ stress analysis of boron nitride films prepared by ion beam assisted deposition

被引：0

作者：

Universitaet Augsburg, Augsburg, Germany ^{[1
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机构：

来源：

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1998年 / 139卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

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引用

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