Ion-beam-assisted deposition of magnetron-sputtered metal nitrides

被引：0

作者：

Baether, K.-H. ^{[1
]}

Herrmann, U. ^{[1
]}

Schroeer, A. ^{[1
]}

机构：

[1] MAT GmbH Dresden, Dresden, Germany

来源：

| 1600年 / Elsevier Science S.A., Lausanne, Switzerland卷 / 75期

关键词：

18;

D O I：

暂无

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