Epitaxial AlN thin films grown on α-Al2O3 substrates by ECR dual ion beam sputtering

被引：0

作者：

Okano, Hiroshi ^{[1
]}

Tanaka, Naoki ^{[1
]}

Kobayashi, Masami ^{[1
]}

Usuki, Tatsuro ^{[1
]}

Shibata, Kenichi ^{[1
]}

机构：

[1] Sanyo Electric Co, Ltd, Osaka, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1995年 / 34卷 / 9 B期

关键词：

Piezoelectric materials;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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