Microcrystalline SiC films grown by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition at low temperatures

被引：0

作者：

Cheng, Kuan-Lun ^{[1
]}

Cheng, Huang-Chung ^{[1
]}

Liu, Chih-Chien ^{[1
]}

Lee, Chiapyng ^{[1
]}

Yew, Tri-Rung ^{[1
]}

机构：

[1] Natl Chiao Tung Univ, Hsinchu, Taiwan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1995年 / 34卷 / 10期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5527 / 5532