Influence of sputtering gases on the properties of magnetron sputtered tungsten films

被引：0

作者：

Etablissement Technique Central de, l'Armement, Arcueil, France ^{[1
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机构：

来源：

Surf Coat Technol | / 1 -3 pt 1卷 / 388-393期

关键词：

D O I：

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