Thin-film shape-memory alloy actuated micropumps

被引：0

作者：

Case Western Reserve Univ, Cleveland, United States ^{[1
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机构：

来源：

J Microelectromech Syst | / 2卷 / 245-251期

关键词：

Number:; DABT63-95-C0070; Acronym:; DARPA; Sponsor: Defense Advanced Research Projects Agency; -; Sponsor: Whitaker Foundation;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用