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Nanometer level positioning using three kinds of lead screws
被引：20
作者：
Otsuka, Jiro
[1
]
机构：
[1] Tokyo Inst of Technology, Yokohama, Japan
关键词：
Bit control;
D O I：
10.1088/0957-4484/3/1/006
中图分类号：
学科分类号：
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