Data processing in the extraction of properties from force curves for mapping

被引:0
作者
Sugisaki, Katsumi [1 ]
Nakano, Katsushi [1 ]
Sugimura, Hiroyuki [1 ]
Kandaka, Noriaki [1 ]
Nakagiri, Nobuyuki [1 ]
机构
[1] Nikon Corp, Ibaraki, Japan
来源
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1998年 / 37卷 / 6 B期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
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页码:3820 / 3823
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