Metal micromechanisms via deep x-ray lithography, electroplating and assembly

被引：16

作者：

Guckel, H. ^{[1
]}

Christenson, T. ^{[1
]}

Skrobis, K. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Wisconsin, Madison, United States

来源：

关键词：

LIGA-like processing sequence - Metal micromechanisms - Planar magnetic micromotors;

D O I：

10.1088/0960-1317/2/4/001

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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