Micromachined inertial devices

被引：0

作者：

Sichuan Inst of Piezoelectric &, Acoustooptic Technology, Chongqing, China ^{[1
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机构：

来源：

Yadian Yu Shengguang/Piezoelectrics and Acoustooptics | 1997年 / 19卷 / 06期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

(Edited Abstract)

引用

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