SELF ANNEALING OF ION IMPLANTED SILICON: SUGGESTION FOR AN EXPERIMENT.

被引:0
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作者
Merli, P.G.
Zignani, F.
机构
来源
Radiation effects letters | 1980年 / 57卷 / 1-2期
关键词
Compendex;
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
SEMICONDUCTING SILICON
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