Photoluminescence study of ion-implanted silicon

被引:0
作者
Terashima, Koichi [1 ]
Ikarashi, Taeko [1 ]
Watanabe, Masahito [1 ]
Kitano, Tomohisa [1 ]
机构
[1] Silicon Systems Research Lab
来源
NEC Research and Development | 1998年 / 39卷 / 03期
关键词
D O I
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页码:289 / 298
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