Comparison of Auger electron spectroscopy and electron energy loss spectroscopy for phase analysis of thin film oxide systems in ion profiling

被引：0
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作者：
Beshenkov, V.G. [1 ]
Volkov, V.T. [1 ]
Znamenskii, A.G. [1 ]
Marchenko, V.A. [1 ]
机构：
[1] IPTMEPM, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia
来源：
| 2001年 / Gordon and Breach Science Publishers Inc.卷 / 16期
关键词：
Ion profiling;
D O I：
暂无
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