Sub-continuum thermal simulations of deep sub-micron devices under ESD conditions

被引:0
作者
Sverdrup, Per G. [1 ]
Banerjee, Kaustav [1 ]
Dai, Changhong [1 ]
Shih, Wei-kai [1 ]
Dutton, Robert W. [1 ]
Goodson, Kenneth E. [1 ]
机构
[1] Stanford Univ, Stanford, United States
来源
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD | 2000年
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
Integrated circuits
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