Study on influence of C2H2/N2 flow ratio on growth of Ti(C,N) film

被引：0

作者：

Xin, Yu ^{[1
]}

Fan, Shuping ^{[1
]}

Wu, Jianxin ^{[1
]}

Jin, Zongming ^{[1
]}

Yang, Lifu ^{[1
]}

机构：

[1] Suzhou Univ, Suzhou, China

来源：

Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Vacuum Science and Technology | 1997年 / 17卷 / 05期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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