Design and fabrication of GeSi/Si strained layer superlattice waveguide PIN photodetectors at λ=1.3 μm

被引:0
作者
Wan, Jianjun [1 ]
Li, Guozheng [1 ]
Li, Na [1 ]
Xu, Xuelin [1 ]
Liu, Enke [1 ]
机构
[1] Xi'an Jiaotong Univ, Xi'an, China
来源
Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors | 1998年 / 19卷 / 08期
关键词
D O I
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学科分类号
摘要
13
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页码:597 / 602
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