SILICON RADIATION DETECTOR ANALYSIS USING BACK ELECTRON BEAM INDUCED CURRENT.

被引:0
作者
Guye, R. [1 ]
Jarron, P. [1 ]
机构
[1] Swiss Cent for Electronics &, Microtechnology Inc, Neuchatel,, Switz, Swiss Cent for Electronics & Microtechnology Inc, Neuchatel, Switz
来源
| 1600年 / A253期
关键词
ELECTRON BEAM INDUCED CURRENT - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE - SEM;
D O I
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