Effects of grown-in hydrogen on lifetime of Czochralski silicon crystals

被引:0
作者
机构
[1] Hara, Akito
来源
Hara, Akito | 1600年 / JJAP, Minato-ku, Japan卷 / 34期
关键词
16;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
相关论文
empty
未找到相关数据