未找到相关数据
Development of a 2.45 GHz electron cyclotron resonance ion source for ion-implanter application
被引：0
作者：
Sekiguchi, M.
Matsushita, H.
Jonoshita, I.
Kabasawa, M.
机构：
来源：
Review of Scientific Instruments
|
1998年
/
69卷
/
2 pt 2期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
相关论文