Gas cluster ion beams: Their formation and applications

被引：0

作者：

Yamada, Isao ^{[1
]}

机构：

[1] Ion Beam Eng. Exp. Laboratory, Kyoto University, Sakyo, Kyoto 606-01, Japan

来源：

Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan | 1996年 / 39卷 / 10期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：481 / 487