Characteristics of xenon capillary Z-pinch extreme ultraviolet lithography source driven by different dI/dt discharge current pulses

被引：0

作者：

机构：

[1] Song, Inho

[2] Iwata, Kazuhiro

[3] Homma, Yusuke

[4] Mohanty, Smruti Ranjan

[5] Watanabe, Masato

[6] Kawamura, Toru

[7] Okino, Akitoshi

[8] Yasuoka, Koichi

[9] Horioka, Kazuhiko

[10] Hotta, Eiki

来源：

Song, I. (inno@plasma.es.titech.ac.jp) | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 44期

关键词：

D O I：

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