Micromachined photodiode submount with integrated mirror for efficient out-of-plane coupling to planar polymeric waveguide circuits

被引：0

作者：

Van Der Linden, Johan E. ^{[1
]}

De Dobbelaere, Peter M. ^{[1
]}

Van Daele, Peter P. ^{[1
]}

Diemeer, Mart B. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Gent/IMEC, Gent, Belgium

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1998年 / 37卷 / 6 B期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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