SURFACE CHARGE DENSITY MEASUREMENT OF DIELECTRIC FILMS USING ULTRASONIC VIBRATION.

被引:0
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作者
Oda, T. [1 ]
Ueno, K. [1 ]
机构
[1] Univ of Tokyo, Tokyo, Jpn, Univ of Tokyo, Tokyo, Jpn
来源
| 1600年 / EI-21期
关键词
CHARGE DENSITY;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
(Edited Abstract)
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