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GAS INJECTOR FOR NITRIDE DEPOSITION USING 2% SILANE GAS.
被引：0
|作者：
Gallagher, J.P.
Li, P.C.
机构：
来源：
IBM technical disclosure bulletin
|
1983年
/
26卷
/
7 B期
关键词：
GAS INJECTORS;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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