STUDY OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON DEPOSITED BY rf GLOW DISCHARGE IN SILANE-HYDROGEN MIXTURES.

被引：0

作者：

Vanier, P.E. ^{[1
]}

Kampas, F.J. ^{[1
]}

Corderman, R.R. ^{[1
]}

Rajeswaran, G. ^{[1
]}

机构：

[1] Division of Metallurgy and Materials Science, Brookhaven National Laboratory, Upton, NY 11973, United States

来源：

| 1812年 / 56期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用