EPITAXIAL NICKEL AND COBALT SILICIDE FORMATION BY RAPID THERMAL ANNEALING.

被引:0
作者
Chevallier, J. [1 ]
Larsen, A.Nylandsted [1 ]
机构
[1] Univ of Aarhus, Inst of Physics,, Aarhus, Den, Univ of Aarhus, Inst of Physics, Aarhus, Den
来源
Applied Physics A: Solids and Surfaces | 1986年 / A39卷 / 02期
关键词
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
17
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页码:141 / 145
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