THERMAL SiO2 ON N + POLYCRYSTALLINE SILICON: ELECTRICAL CONDUCTION AND BREAKDOWN.

被引:0
作者
Faraone, Lorenzo [1 ]
机构
[1] RCA Lab, Princeton, NJ, USA, RCA Lab, Princeton, NJ, USA
关键词
SILICON DIOXIDE - THERMAL OXIDATION;
D O I
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页码:1785 / 1794
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