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THERMAL SiO2 ON N + POLYCRYSTALLINE SILICON: ELECTRICAL CONDUCTION AND BREAKDOWN.
被引:0
作者
:
Faraone, Lorenzo
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0
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0
机构:
RCA Lab, Princeton, NJ, USA, RCA Lab, Princeton, NJ, USA
RCA Lab, Princeton, NJ, USA, RCA Lab, Princeton, NJ, USA
Faraone, Lorenzo
[
1
]
机构
:
[1]
RCA Lab, Princeton, NJ, USA, RCA Lab, Princeton, NJ, USA
来源
:
IEEE Transactions on Electron Devices
|
1986年
/ ED-33卷
/ 11期
关键词
:
SILICON DIOXIDE - THERMAL OXIDATION;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
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页码:1785 / 1794
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