Effect of methane concentration on process of chemical vapor deposition of diamond film by Monte Carlo simulation

被引：0

作者：

Shang, Yong ^{[1
]}

Dong, Li-Fang ^{[1
]}

Ma, Bo-Qin ^{[1
]}

Wang, Zhi-Jun ^{[1
]}

机构：

[1] Coll. of Physics Science and Technology, Hebei Univ., Baoding 071002, China

来源：

Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals | 2005年 / 34卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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