Carbon nitride thin films prepared by reactive r.f. magnetron sputtering

被引:0
作者
Logothetidis, S. [1 ]
Lefakis, H. [1 ]
Gioti, M. [1 ]
机构
[1] Department of Physics, Aristotle University of Thessaloniki, 54006 Thessaloniki, Greece
来源
Carbon | / 36卷 / 5-6期
关键词
D O I
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页码:757 / 760
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