X-RAY ANALYSIS OF STRAIN IN TITANIUM NITRIDE LAYERS.

被引:0
作者
Valvoda, V. [1 ]
Musil, J. [1 ]
机构
[1] Charles Univ, Prague, Czech, Charles Univ, Prague, Czech
来源
Thin Solid Films | 1987年 / 149卷 / 01期
关键词
D O I
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学科分类号
摘要
STEEL
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