Importance of lattice matching and surface arrangement for the helicon-wave-excited-plasma sputtering epitaxy of ZnO

被引：0

作者：

机构：

[1] Koyama, T.

[2] Chichibu, S.F.

来源：

Chichibu, S.F. (optoelec@bk.tsukuba.ac.jp) | 1600年 / American Institute of Physics Inc.卷 / 95期

关键词：

D O I：

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