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In Situ XPS Studies of the Deposition of TiNxCy Films from Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) and Bis[N,N'-bis(tert-butyl)ethylenediamido]titanium(I V)
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来源：
Chem Mater
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12卷
/
2712期
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D O I：
暂无
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