AUTOMATIC FLATNESS TESTING USING A FIZEAU INTERFEROMETER.

被引：0

作者：

Yatagai, Toyohiko ^{[1
]}

Inabu, Shigeru ^{[1
]}

Suzuki, Masane ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Tsukuba, Inst of Applied, Physics, Ibaraki, Jpn, Univ of Tsukuba, Inst of Applied Physics, Ibaraki, Jpn

来源：

Test & measurement world | 1985年 / 5卷 / 09期

关键词：

AUTOMATIC FLATNESS TESTING - FIZEAU INTERFEROMETER - SILICON WAFERS FLATNESS;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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