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Application of wet chemical etching in fabrication process of GaAs/AlGaAs quantum dot arrays
被引：0
作者：
Wang, Xinghua
Song, Aimin
Cheng, Wenchao
Li, Guohua
Li, Chengfang
Li, Yuexia
Tan, Pingheng
机构：
来源：
Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors
|
2000年
/
21卷
/
01期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
12
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